제품소개
 
 
 
 
CMP 공정 중 Pad Conditioning에 사용되는 Conditioner로서 기존 Diaphragm 방식을 Cylinder Type으로 개발한 제품으로 Life Time 연장과 안정적인 Condition이 이루어지는 제품입니다.

특허 제 10-0577143호