제품소개
 
 
 
반도체 Diff 공정 장비인 KE 장비에 사용되는 R 축 회전 Motor Ass'y 제품으로 기존에 자성 유체로 Sealing을 하는 방식을 Double Seal 방식으로 개발한 제품입니다. Life Time이 길고 안정적인 Sealing과 F2 Clean Gas에도 대응 가능한 제품입니다.

특허 제 10-0698544